CVD專用氫氣發(fā)生器HG PRO 4000

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產品時間2024-06-21

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產品描述：CVD專用氫氣發(fā)生器HG PRO 4000是一款大流量氫氣發(fā)生器。它釆用新型長壽命多層PEM電解單元，不使用酸性或堿性溶液。創(chuàng)新的PSA氫氣干燥模塊，確保最高等級的氫氣純度，免維護。自動檢查內部泄漏并持續(xù)控制運行參數(shù)，以確保安全。LCD觸控屏界面對所有功能單元提供了方便及簡單的操作。

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產品概述

CVD專用氫氣發(fā)生器HG PRO 4000是一款大流量氫氣發(fā)生器。它釆用新型長壽命多層PEM電解單元, 不使用酸性或堿性溶液。創(chuàng)新的PSA氫氣干燥模塊，確保最高等級的氫氣純度，免維護。自動檢查內部泄漏并持續(xù)控制運行參數(shù)，以確保安全。CVD專用氫氣發(fā)生器HG PRO 4000LCD觸控屏界面對所有功能單元提供了方便及簡單的操作。

技術參數(shù)

Model: HG PRO 4000	4000	4000 LN
基本參數(shù)
電解單元	PEM技術
干燥系統(tǒng)	PSA （變壓吸附）/ TSA （変溫吸附）
氫氣純度	>99.99999%	>99.99999%
出口壓力	12 bars (174 psi) / 16 bars (232 psi)(可選)
氫氣流量（最大）	4000ml/min
尺寸	44.5x66x61.5 cm
凈重（無水）	52 kg	53kg
N2含量	3ppm	<1ppm
軟件功能
并行模式	準備就緒
自動加水	標配
填充氫化物罐功能	標配
水
水質	去離子,ASTM ll,<0.1uS
供應壓力（最小，最大）	0 bars (0 psi), 0.5 bar (7.25 psi)
流速	0.251/h
內部水箱容量	20L
電源
連接類型	圧C320-C14
電源	100-240Vac (±10%) 50/60 Hz
功率（最大）	1600W
電流(5x20mm)	6.3A (250VAC - T)